000 00304nam a2200133Ia 4500
008 160710s2006 xx 000 0 und d
020 _a0849391377
082 _a621.381 GAD
100 _aGAD-EL-HAK, MOHAMED
245 _aTHE MEMS HANDBOOK
260 _bCRC
_c2006
300 _a16.35
942 _2ddc
_cB
999 _c68395
_d68395